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石墨烯使MEMS傳感器變得更敏感
來(lái)自瑞典的KTH皇家研究所的研究人員開(kāi)發(fā)了石墨烯硅壓阻傳感器。這種石墨烯傳感器和普通硅壓阻傳感器相比靈敏度增加100倍。
研究人員在一個(gè)硅襯底上放置一個(gè)鏤空的二氧化硅片，在上面再覆蓋一片石墨烯。石墨烯成為一個(gè)隔膜，他們制作了一個(gè)原型裝置，作為一個(gè)應(yīng)變儀，這個(gè)還可以應(yīng)用在其他MEMS傳感器上。
 
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